一种新型圆柱定子3自由度球形压电超声电机

摘要

3自由度超声电机利用圆柱定子的3种同频共振模态(2个正交的弯曲摇摆振动和1个纵向振动),两两分别叠加、合成,通过摩擦驱动球转子分别绕3个轴旋转.根据这一原理可将该电机改装成多自由度直线电机.通过有限元方法设计定子的结构和模态,利用阻抗测试方法测得的定子共振频率、模态与设计相符,同时测量了球转子绕3个轴的转速特性.为了提高3自由度圆柱超声电机的定转子传动效率,对圆柱型定子锥形端面作了进一步优化设计.