掺杂对SnO_2超微粒薄膜湿敏特性的影响

摘要

本文对ＳｎＯ２和掺有３％Ｂｉ２Ｏ３的ＳｎＯ２超微粒薄膜的湿敏特性进行了研究和比较。采用相同工艺条件制备和处理的样品，其结果并不一样。ＳｎＯ２膜的感湿特性差，而掺杂的ＳｎＯ２膜具有较好的感湿特性，而且其湿敏特性曲线具有较好的线性。实验结果表明，只要在ＳｎＯ２中加入少量的Ｂｉ２Ｏ３，就能制成在常温下具有较好线性和稳定性的薄膜湿敏元件。