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方亮; 段茜; 郭小伟; 王景全; 张志友; 杜惊雷;
四川大学物理科学与技术学院纳光子技术研究所;
DMD; 数字光刻; 分辨率; 扫描; DOE;
机译:二维光机械聚焦激光点扫描仪:微立体光刻的分析和实验结果
机译:扫描探针光刻技术制备蛋白质图案的方法研究
机译:使用微立体光刻技术制作的模拟小梁骨结构的体模的锥形束计算机断层扫描图像
机译:使用数字微镜器件的步进扫描光刻实时图案生成器的快速原型制作
机译:大型阵列自动写扫描光刻胶制作及检测系统的开发。
机译:单数字纳米电子束光刻和像差校正扫描透射电子显微镜
机译:通过扫描精细激光点(使用收缩机构方法扫描精细激光点(宽激光扫描)开发精确激光治疗装置
机译:扫描探针光刻。扫描隧道显微镜Tipparameters对自组装单层光刻图案的影响
机译:包含第一和第二DOE的半导体晶片的制造和使用的工艺,该第一DOE和第二DOE是兼容标准单元的,启用NCEM的填充单元,第一DOE包括蛇形开口的填充单元,第二DOE包括针脚开口的填充单元
机译:制作和扫描光点图案的方法和装置
机译:制备和使用包含第一和第二DOE的半导体晶圆的工艺,该第一和第二DOE兼容标准单元,且具有NCEM功能的填充单元,其中第一DOE包括通过开口配置的填充单元,第二DOE包括金属岛开放配置的填充单元
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