声表面波滤波器的有限元模拟

摘要

声表面波滤波器(Surface Acoustic Wave Filter,SAWF)(简称SAW滤波器)是现代通信系统中的一类重要电子元器件.在SAW滤波器的设计和优化中,数值模拟是基本手段之一.为了对SAW滤波器进行高精度数值模拟,本文提出了一种有限元模拟方法.本文建立了SAW滤波器的数学模型,为模型应用周期边界条件,并添加完美匹配层(Perfect Matching Layer,PML),然后再用有限元法得到模型的解.作为例子,本文对典型压电材料为基底的3维SAW滤波器进行了数值模拟,分别给出其简化模型及y方向全结构模型.计算结果表明,相比业界常用的商业软件,本方法同样正确有效.