碳化硅陶瓷超声波辅助磨削表面完整性研究

摘要

碳化硅单晶是典型的硬脆材料,具有硬度高、断裂韧性低及化学稳定性高等特性.为了研究其合适的加工工艺,采用超声波辅助内圆磨削的方法对碳化硅陶瓷内圆进行加工,观察其内表面形貌.实验结果表明,超声波辅助磨削更容易实现延性域的磨削.