吸收透明导电薄膜生长与复光学常数测定

摘要

用带特殊热 (冷 )阱的可控制基片温度的电阻加热式真空蒸镀薄膜装置 ,把吸收透明导电薄膜Au和In2 O3分别通过热蒸镀和活化反应淀积在玻璃基片上 .In2 O3的电阻为80Ω/□ ,光学透射率不小于 80 % .透明导电薄膜的复光学常数可通过测量其反射和透射系数得到 ,但考虑到基片背表面的存在 ,必须对反射和透射系数进行修正 .引入修正后所得到的复光学常数与椭偏测量的结果一致 .