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用金属膜片-SOS元件制作的低压传感器

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摘要

利用金属膜片感受被测压力并将其转换成集中力,再通过传压杆将集中力传递到SOS元件上,从而实现了比SOS元件量程低的压力测量.基于此原理,用0.3 MPa量程的SOS元件,研制成了0.03 MPa量程的压力传感器.实验结果与理论分析吻合很好.

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来源
《沈阳理工大学学报》 |1999年第2期|23-27|共5页
作者
唐宏欣; 朱英杰; 付敬奇;
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作者单位

沈阳工业学院自动化研究所,沈阳110015;

沈阳工业学院;

电子工业部第49研究所;

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正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
金属膜片; SOS元件; 压力传感器;

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