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a-SiO_xN_y薄膜的红光发射能级

         

摘要

在PECVD法制备的a-SiOxNy薄膜中首次观察到分立能级的红光发射,采用荧光激发谱研究了发光能级与其它能级之间的相互关系,建立了产生光跃迁的能级模型.

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