Ti-Al-N复合膜力学及高温抗氧化性能研究

摘要

为了研究Al含量对Ti-Al-N复合膜的力学及高温抗氧化性能的影响.采用真空磁控溅射技术的方法制备了不同Al含量的Ti-Al-N复合膜.使用XRD、MM6硬度测试仪、SX-4-10箱式炉、SEM等测试复合膜微结构、硬度、高温抗氧化性能.研究结果表明:Al元素的加入对薄膜的微结构有着明显影响,并且Al含量为49.97at.％时薄膜的硬度最高,分析认为Al元素的加入一方面导致薄膜发生了晶格畸变,另一方面也起到了细晶强化作用.在此基础上,固定Al含量为49.97at.％,研究了不同温度下薄膜的高温抗氧化性能,发现了薄膜的抗氧化温度达到了900℃.