金红石和锐钛矿型二氧化钛薄膜的制备和特性评价(英文)

摘要

综述了作者近年来通过交流螺旋磁控溅射制备锐钛矿和金红石型微晶薄膜的研究进 展,阐述了薄膜的制备工艺与其晶体结构、组成、光学性能以及杀菌能力的关系,并通过有效的 方法对其光学性能进行了改进。