Al/SiO_2/Si表面Al_2O_3纳米图形的AFM阳极氧化制备方法

摘要

采用 AFM阳极氧化方法 ,在控制 AFM探针尖端电压和扫描方式的条件下 ,在 Al/Si O2 /Si表面制备了 Al2 O3纳米图形 ,图形最小尺寸为 70 nm .研究了表面吸附水层存在下 AFM阳极氧化机理 .实验结果表明