灵活可控Si基阳极氧化铝纳米模板制备

摘要

本文通过在Si衬底上直接沉积AI膜，然后采用两步阳极氧化法自组织形成柱状纳米多孔结构，并进一步利用原位反向偏压和湿法刻蚀相结合，去除阻挡层，直接在Si衬底上大面积低成本形成纳米多孔掩膜板，并进一步通过湿法扩孔，实现了孔径在20-100 nm范围内可调，深宽比可在(2000-1)的均匀有序纳米孔状模板。该灵活可控均匀纳米多孔模板的实现，有助于实现廉价Si纳米结构器件，该廉价阳极氧化铝纳米膜板的制备也有助于转移到其他异质衬底，实现大面积低成本纳米结构。