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吴文刚; 李轶; 黄风义; 韩翔; 张少勇; 李志宏; 郝一龙;
北京大学微电子学研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室;
东南大学无线电系射频与光电集成电路研究所;
MEMS电感; 悬浮螺线; 表面镀铜; 品质因子; 建模与参数提取; 射频;
机译:用于单片MEMS LC电路的具有悬浮和镀铜厚结晶硅螺旋的RF电感器
机译:用于功率MEMS器件的具有高电感密度的3D MEMS片内螺线管电感器
机译:新型基于MEMS的微螺线管型电感器制造技术
机译:用于未来电源 - MEMS设备的高电感密度的芯片内螺线管电感器的3D MEMS片内电感器
机译:CMOS VCO和LNA由空气悬浮的片上RF MEMS电感器实现。
机译:硅衬底MEMS悬浮电感的电感值计算方法
机译:用于RF应用的表面微机械螺线管on-si和玻璃上电感器
机译:用于计算厚螺线管磁场的半无限螺线管的叠加
机译:MEMS微型螺线管电感器及其制造方法
机译:悬浮单晶硅微机电系统(MEMS)器件的制造方法
机译:用于增厚的化学镀铜装置,化学镀铜方法和用于制造具有厚度的多层印刷线路板的方法。
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