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蝶形电极结构载流子注入全内反射交叉脊形光波导开关

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分析了一种蝶彩电极结构交叉脊形光波导开关．这种结构可使波导交叉角增大，反射损耗降低，传输端的消光比提高，波导的数值孔径变大，且有较小的串音．

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来源
《半导体学报》 |1997年第4期|281-285|共5页
作者
李宝军; 刘恩科;
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作者单位

西安交通大学微电子工程系;

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正文语种 chi
中图分类 TN304.12;TN814.6;
关键词
硅; 光波导开关; 交叉脊形; 电极结构;

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