公开/公告号CN1279406A
专利类型发明专利
公开/公告日2001-01-10
原文格式PDF
申请/专利权人 浙江大学半导体光电子技术与系统研究所;
申请/专利号CN00122310.0
申请日2000-07-27
分类号G02B6/35;
代理机构浙江高新专利事务所;
代理人崔勇才
地址 310027 浙江省杭州市玉古路20号
入库时间 2023-12-17 13:50:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2007-09-26
专利权的终止未缴年费专利权终止
专利权的终止未缴年费专利权终止
2004-01-07
地址不明的通知 收件人:浙江大学导体光电子技术与系统研究所 文件名称:发明专利说明书 申请日:20000727
地址不明的通知
2003-08-27
授权
授权
2001-01-10
公开
公开
2000-12-13
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
本发明涉及一种开关列阵,特别是全内反射型1×N全光光开关列阵。
全光光开关列阵是光纤通信网络不可少的关键器件,尤其是在宽带全光交换网络和未来的光子集成回路中。目前,常见的全内反射型1×N开关列阵基本单元是由直通光波导、偏转光波导和电流注入区构成,其结构为树形,这种开关列阵在注入区由于采用电流注入,发热较严重,其载流子寿命一般为微秒量级,使开关速度受限制;在各输出端由于需通过全反射次数不同,易造成各输出端的输出光强度不均匀,串音较大,器件长度也较长。如采用镜面反射和Bragg反射型全反射结构构成无阻塞光开关列阵时网络拓扑结构复杂,而且制作工艺较难。
本发明的目的是提供一种发热小的输出光强度均匀的全内反射型1×N全光光开关列阵。
本发明的目的是通过下述措施实现的:它的基本单元是由直通光波导、偏转光波导和注入区构成,结构特征是:在直通光波导两侧交替设置非对称Y分叉的偏转光波导,作为输出端构成形状像“麦穗”形的开关列阵;所述注入区为光注入区,在直通光波导与所有偏转光波导的分叉处分别设置光注入区,当光注入某一光注入区时能使直通光波导内的传输光发生全反射,并射入到该处的偏转光波导内,达到光开关的功能。
本发明具有以下的特点:
1.由于采用了光注入区,因光脉冲有效光能量是毫焦耳量级,并只需一个注入区注入,所以发热极小;
2.因光注入式光开关的速度主要取决于光生载流子复合寿命,利用外加偏压辅助方法能使光注入式光开关速度达到纳秒量级;
3.由于直接采用了在直通光波导两侧交替制作非对称Y分叉的偏转光波导为输出端,整体形状像“麦穗”形,这样每个输出端只经过一次传输光全内反射,所以输出端的输出光强度均匀性好,串音低;
4.“麦穗”形结构易扩展输出端口,尺寸小易于集成,便于发展基片混合集成型的全光光开关器件;
5.光注入方法可推广到X结、网格等结构的全内反射型光开关列阵。
下面结合附图对本发明作进一步说明。
图1是本发明的结构示意图;
图2是光开关单元的结构示意图。
实施例 参照图1、图2
1.根据平面光波导理论和有效折射率法,按照附图的结构设计单模光波导列阵,采用半导体基本工艺制作光波导。
2.光波导设计:具体尺寸与所选材料、输入光的波长等有关,如对于1.3微米的输入光波,采用波导层为1.2微米的单异质结波导材料(GaAs/GaAlAs),则开关单元的波导宽度为4微米,脊形波导的脊高为0.4微米,偏转波导1采用S形弯曲,曲率半径大于5毫米。光注入区3与直通光波导2的夹角为偏转光波导1与直通光波导2夹角2θ的一半,角度大小取决于光注入引起的折射率下降的幅度,如折射率差为0.02,θ取2度。偏转光波导1交替分布在直通光波导2两侧组成“麦穗”形光开关列阵,两相邻光注入区3间距应大于光注入区3的长度,作为输出端的两相邻偏转光波导1水平间隔取250微米。
3.采用普通的半导体制作工艺,制作光波导和光注入区3。
直通光波导2和偏转光波导1的制作 直接采用光刻胶作掩膜的制作工艺流程为:波导基片清洗→涂光刻胶→紫外光曝光→显影→刻蚀(湿法刻蚀或干法刻蚀)→去胶清洗。
光注入区3的制作 制作工艺流程为:清洗→涂光刻胶→紫外光曝光→显影→真空镀铝膜→剥离;或采用反刻法:清洗→真空镀铝膜→涂光刻胶→紫外光曝光→显影→腐蚀铝膜。
直通光波导2和注入区3之间位置采用自对准套刻方法实现对准。
4.光激励采用波长略小于波导材料吸收峰波长(如对于GaAs材料,光注入光波波长选择为0.79微米)的100mW量级的半导体激光器直接注入,光注入区3用铝膜隔离,光注入区3宽度4微米,长度取决于直通光波导2的宽度和偏转光波导1的夹角,由几何关系可求得。注入方式可用多模光纤列阵垂直注入区直接照射,或利用基片混合集成技术,采用面发射发光、激光二极管列阵方法实现,单一光脉冲有效光能量在1毫焦耳以内。
机译: 用于汽车的光注入装置,具有与垂直于倾斜表面的轴垂直的发射器注入光,其中表面的平均倾斜角等于光的全内反射角的特定度数。
机译: 基于全内反射的改进型光开关
机译: 光诱导全内反射X结波导光开关,网络和光开关方法