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基于MATLAB的硅各向异性腐蚀过程模拟

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摘要

根据硅各向异性腐蚀特点 ,在硅各向异性腐蚀速率图基础上 ,提出算法 ,利用数学软件 MATL AB模拟了几种简单掩膜图形的腐蚀过程 .程序从二维掩膜描述出发 ,找到相关晶面 ,产生动态的三维几何结构的输出 .并推导出凸角补偿时补偿条的相关尺寸 .其结果对

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来源
《半导体学报：英文版》|2002年第4期|440-444|共5页
作者
张佩君; 黄庆安;
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作者单位

东南大学微电子中心;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN304.12;
关键词
硅; 过程模拟; 各向异性腐蚀; MATLAB;
入库时间 2022-08-20 18:54:23

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