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用于光电子器件的低成本、高反射率 SOR衬底(英文)

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报道了一种包含一薄层单晶硅和隐埋 Si/Si O2 布拉格反射器的 SOR衬底 .这种可用于光电子器件的衬底是由硅基乳胶粘接和智能剥离技术研制而成的 .在垂直光照条件下 ,这种 SOR衬底在 1.3μm处的反射率接近10 0 %

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来源
《半导体学报》 |2001年第3期|261-264|共4页
作者
李成; 杨沁青; 王红杰; 王启明;
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作者单位

中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体光电器件;
关键词
SOR; 光电子器件; 衬底; 反射率;

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