沉积参数对CVD金刚石晶粒尺寸的影响

陈广超; 兰昊; 李彬; 戴风伟; Askari; J; 黑立富; 宋建华; 李成名; 唐伟忠; 佟玉梅; 吕反修

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沉积参数对CVD金刚石晶粒尺寸的影响

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采用DC Arc Plasma Jet CVD方法制备了金刚石自支撑膜体,考察了温度分布、沉积腔压和CH4/H2等沉积参数对所制备金刚石膜体中的晶粒尺寸的影响.实验发现沿温度降低的方向和增加腔压会使晶粒尺寸变大,当CH4/H2超过15%后,有带刻面的晶粒出现.本次实验最大的晶粒对角线长度超过1mm.

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来源
《半导体学报》 |2007年第z1期|348-351|共4页
作者
陈广超; 兰昊; 李彬; 戴风伟; Askari; J; 黑立富; 宋建华; 李成名; 唐伟忠; 佟玉梅; 吕反修;
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作者单位

北京科技大学;

北京;

100083 北京科技大学;

北京;

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北京;

100083 北京科技大学;

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北京;

100083 北京科技大学;

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北京;

100083 北京科技大学;

北京;

100083 北京科技大学;

北京;

100083;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN304.055;
关键词
金刚石; 晶粒尺寸; 等离子体喷射CVD;

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