金刚石膜内晶粒尺寸和取向对其热导率的影响

摘要

该文研究了金刚石胆内品位尺寸和取向程度对金刚石膜热导率的影响，通过对衬底表面进行了不同研磨时间的处理和适当的工艺条件，采用灯丝热解化学气相沉积（ＨＦＣＶＤ）的方法在单晶硅衬底上形成了具有不同晶粒尺寸和不同程度（１００）晶面取向的金刚石膜，并研究了其热导率，结果表明由大晶粒和较高程度（１００）晶面取向的晶粒构成的金刚石膜具有高的热导率特性。