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新型隐埋Si/SiO_2做底镜的共振腔型探测器的理论分析

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本文提出一种新型隐埋Ｓｉ／ＳｉＯ２Ｂｒａｇｇ反射器结构的Ｓｉ基共振腔型光电探测器，该结构具有与集成电路相兼容的特点．理论计算表明量子效率较普通光电探测器提高了３～４倍．

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来源
《半导体学报》 |1999年第7期|601-605|共5页
作者
李成; 杨沁清; 王启明;
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作者单位

中国科学院半导体研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN304.12;TN304.21;
关键词
硅; 氧化硅; 共振腔型; 探测器; 光电探测器;

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