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经Al_2O_3与SiO_x钝化的多孔硅及其光致发光特性

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在一定偏压下用ＡｌＣｌ３＋Ｃ２Ｈ５ＯＨ＋Ｈ２Ｏ混合液对多孔硅进行了后处理．经过处理的多孔硅与未经处理的多孔硅相比，其发光强且稳定．通过对样品进行红外吸收谱的测试和分析，指出在后处理样品表面形成的Ａｌ２Ｏ３与ＳｉＯｘ结构是多孔硅发光增强和稳定性得到提高的原因．

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来源
《半导体学报》 |2000年第1期|38-43|共6页
作者
刘小兵; 熊祖洪; 史向华; 袁帅; 廖良生;
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作者单位

长沙电力学院物理系;

复旦大学应用表面物理国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 O472.8;
关键词
多孔硅; 光致发光; 钝化; 氧化铝; 氧化硅;

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