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钝化多孔硅的光致发光

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摘要

选用含有胺基的正丁胺 (CH3CH2 CH2 CH2 - NH2 )作碳源 ,采用射频辉光放电法制备碳膜对多孔硅进行碳膜钝化 ,其光致发光谱和存放实验表明 :正丁胺对多孔硅进行钝化是一种十分有效的多孔硅后处理途径 .研究了钝化多孔硅的光致发光谱随钝化温度和钝化时间的变化关系 ,其结果显示

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来源
《半导体学报》 |2002年第1期|34-37|共4页
作者
李宏建; 彭景翠; 许雪梅; 瞿述; 夏辉;
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作者单位

湖南大学光电子材料研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 O484.41;
关键词
多孔硅; 钝化温度; 光致发光谱;

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