两端固支多层梁吸合电压的解析模型

摘要

运用能量法分析了两端固支多层梁在静电作用下的弯曲情况及发生吸合现象时 ,梁中央的归一化位移 β和对应的吸合电压 VPI,得到了 β和 VPI的解析表达式 .用 Coventor软件中的 Co Solve EM模块进行了模拟 。