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低温等离子体反应沉积ITO膜的研究

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研究了低温等离子体条件下ITO膜的沉积过程,获得了均匀、致密的ITO膜.测量了膜的光、电特性,确定了最佳沉积条件,并对实验结果进行了定性分析.

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来源
《半导体学报》 |1991年第1期|62-64|共3页
作者
贾永新; 杨志平; 谢晓阳; 李志强;
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作者单位

河北大学固体发光研究室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN304.055;
关键词
ITO膜; 低温; 等离子体; 沉积;

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