Si3N4微尺度薄膜的热物性

摘要

Si3N4薄膜被广泛应用于微机械和微电子器件中，其热物性在某些器件中显得很重要，为了研究Si3N4薄膜的热容、辐射、对流等热物性，文中设计出一种悬膜结构，并从理论上分析了此结构的传热机理，实验中利用微机械加工技术制作出不同尺寸和厚度的Si3N4微尺度悬膜，并通过测试得到了Si3N4薄膜的热学参数。