光电位置敏感探测器非线性误差校正方法研究

摘要

位置敏感探测器(PSD)以其分辨率高、时间响应性好的优点在光电检测领域得到了广泛的应用,但是PSD在生产过程中产生的非线性误差极大的影响了测量精度和范围,因此对PSD进行必要的非线性误差修正可以大大提高其测量精度和可靠性。