锐钛矿纳米晶粒TiO2薄膜的制备及分析

张辉军; 邱成军

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锐钛矿纳米晶粒TiO2薄膜的制备及分析

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以金属钛为靶材,采用射频磁控溅射方法制备纳米晶粒TiO2薄膜.利用扫描电镜、紫外-可见光谱仪、X射线衍射仪研究不同热处理温度下制备的纳米晶粒TiO2薄膜的结构及表面形貌.实验结果显示,用射频磁控溅射得到的纳米晶粒TiO2薄膜与衬底结合紧密,薄膜表面致密、平整,经550℃晶化的纳米晶粒TiO2薄膜为均一的锐钛矿相,具有良好的紫外光吸收率.

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来源
《黑龙江大学自然科学学报》 |2005年第1期|103-106|共4页
作者
张辉军; 邱成军;
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作者单位

黑龙江大学,集成电路重点实验室,黑龙江,哈尔滨,150080;

黑龙江大学,集成电路重点实验室,黑龙江,哈尔滨,150080;

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正文语种 chi
中图分类特种结构材料;
关键词
纳米晶粒TiO2薄膜; 射频磁控溅射; 晶化; 锐钛矿相; 金红石相;

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