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脉冲电子束系统沉积高温超导薄膜研究

         

摘要

高温超导薄膜生长是研究超导现象和超导器件的基础,一直是凝聚态物理研究的一个重要课题.各种各样的薄膜生长方法都被应用于高温超导薄膜的生长研究.本文采用一种崭新的薄膜沉积设备--脉冲电子束沉积系统(PED)成功制备出了NCC0,LSCO高温超导薄膜,并通过优化沉积参数,获得了具有良好表面形貌和超导转变特性的高温超导薄膜.

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