摘要：描述了一种用于材料表面改性的新技术--等离子体浸泡式离子注入,以及它的关键设备--高压脉冲调制器.我们研制了1台用于材料表面改性的光纤隔离同步控制的10kVIGBT固态脉冲调制器.试验结果表明:技术性能优良,输出电压幅值可在1～10kV范围内调节,脉冲宽度可在2～100μs范围内改变,重复频率可在10Hz～8.5kHz范围内变化;在纯阻性负载时,注入电压波形的上升时间和下降时间分别为350ns和1.64μs;在等离子体负载时,由于电缆电容和下拉电阻较大,上升时间增加到2μs,下降时间增加到30μs;如果减小电缆电容和下拉电阻,上升时间可以进一步减小,下降时间可以减小到15μs.
