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精密光栅角位移传感器的设计

     

摘要

本文论述了一种精密光栅角位移测量系统,它体积小、重量轻、精度可达±1.5秒.并以此测量系统为例,介绍光栅角位移传感器的用途及测量原理,论述其结构设计及选型原则,并对光栅角位移传感器的误差进行了仔细分析.

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