磁控溅射制备PET非织造布基Ag膜的结构及其电磁屏蔽性能

摘要

采用直流磁控溅射技术在PET非织布表面沉积Ag膜,利用正交试验法分析磁控溅射工艺参数对其电磁屏蔽效能(SE)的影响,结果表明磁控溅射工艺参数对电磁屏蔽效能的影响次序为溅射功率、溅射时间、溅射压强;最佳工艺参数分别为:30W、15min、0.5Pa,在30M～1.5G Hz频率范围内,其屏蔽效能均值达到39.37dB.进一步采用多种表征手段分析其物理结构特征及表面状态,结果显示A g在PE T纤维表面成膜致密,分布均匀,结晶性能良好,且以单质银的形态存在.