静电激振法测量微机械材料的杨氏模量

摘要

利用蚀刻硅技术制造的微机械构件,由于特殊的制作工艺而需要对其材料的机械性能如杨氏模量等进行测试.这是随微机械技术的产生而提出的-个新课题.文章综述了微机械材料杨氏模量的静态测试法.提出了微机械材料杨氏模量的动态测试法--静电激振法.这种方法具有测试装置简单、测量容易、适应性广等特点.