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准分子紫外光源低温生长金属薄膜

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摘要

报道了紫外光源在制备金属薄膜材料方面的应用研究 .金属钯是一种优良的催化剂 ,首先在各种衬底上面淀积钯的金属有机化合物薄膜 ,通过紫外光分解钯的金属有机化合物 ,形成数埃到几十埃的钯膜 ,然后再利用钯的催化效应 ,在无电极电镀液中淀积出几十纳米到几微米厚的各种金属薄膜(如Cu、Au、Ni等 ) .

著录项

来源
《临沂大学学报》 |2000年第6期|28-30|共3页
作者
张华昌; 尹静;
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作者单位

临沂师范学院化学系;

临沂粮食学校基础部;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的生长、结构和外延 ;
关键词
准分子紫外光源; 金属薄膜; 无电极电镀; 金属钯淀积; 金属有机化合物; 催化剂;

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