金刚石薄膜质量的拉曼光谱与红外光谱判定

摘要

根据ＤｉＤｏｍｅｎｉｃｏ公式并采用计算机模拟计算了金刚石薄膜中的ｓｐ＾２／ｓｐ＾３键价比，计算中不仅考虑了ｓｐ＾３相及ｓｐ＾２相拉曼线１３３２ｃｍ＾－１，１５８０ｃｍ＾－１，同时考虑了“Ｄ”线１３５５ｃｍ＾－１存在，这一计算给出了金刚石薄膜质量的定量评估方法，当金刚石薄膜质量较高时，由于仪器灵敏度限制其拉曼光谱中显示不出ｓｐ＾２相宽带结构情况下，无法采用拉曼光谱判定薄膜质量，在此情况下，本文提出藉