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运用器件模拟软件验证一种GGNMOS ESD保护电路的设计方案

         

摘要

随着CMOS工艺技术发展到深亚微米阶段,器件沟道的有效长度小于0.25μm,器件的高集成度增进了集成电路(IC)的性能及运算速度.但随着器件尺寸的缩减,却出现了一些可靠度的问题,其中ESD(electrostatic discharge)是当今MOS集成电路中最重要的可靠性问题之一.

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