直流热等离子体低压高速率合成金刚石薄膜

摘要

近年来,低压化学气相合成的金刚石薄膜,由于其独特的光学、电学和力学性质和在高技术及其他工业技术领域中的广泛应用前景,因而引起了国内外科学工作者的极大兴趣。目前已发展了各种方法来制备金刚石薄膜。主要的方法有热灯丝化学气相沉积法、微波等离子体法、射频等离子体法、电子辅助化学气相沉积法。