首页> 中文期刊> 《兰州大学学报：自然科学版》 >微波CVD法合成金刚石薄膜的生长规律

微波CVD法合成金刚石薄膜的生长规律

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

用微波等离子化学气相沉积方法 (CVD片 )用丙酮—氢气混合气体作为原料 ,在单晶硅的(111)面和人造单晶金刚石的 (10 0 )面上 ,生长出了优质金刚石薄膜 ,并对薄膜的生长规律进行了研究 .

著录项

来源
《兰州大学学报：自然科学版》 |2000年第3期|80-83|共4页
作者
方莉俐; 秦桂芳; 方向前;
展开▼
作者单位

郑州纺织工学院基础部;

甘肃酒泉教育学院教务处;

郑州纺织工学院电气系;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的生长、结构和外延;
关键词
金刚石薄膜; 合成; 微波CVD法; 生长规律;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 微波CVD法合成金刚石薄膜的生长规律及薄膜品质分析 [J] . 方莉俐 ,方向前 . 郑州纺织工学院学报 . 1999,第003期
2. 微波CVD法在硬质合金工具表面合成金刚石薄膜的研究 [J] . 李成明 ,吕反修 . 兵工学报 . 1997,第001期
3. 微波CVD法合成金刚石薄膜生长机理分析 [J] . 方莉俐 . 郑州纺织工学院学报 . 1997,第A04期
4. 用于合成金刚石薄膜的微波等离子体CVD系统 [J] . 霍晓 . 航空材料学报 . 1994,第003期
5. 微波等离子体CVD合成金刚石薄膜 [J] . 张志明 ,洪爱玲 . 上海硅酸盐 . 1992,第001期
6. 用微波等离子体ＣＶＤ法在氧化铝陶瓷基片上沉积金刚石薄膜 [C] . 王瑜 . ’94秋季中国材料研讨会 . 1994
7. 微波等离子体CVD法工艺参数对金刚石薄膜质量的影响 [A] . 刘鹏飞 . 2012

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号