石英晶体在真空镀膜测厚技术中的应用研究

摘要

基于石英晶体振荡原理,提出了在真空状态下的一种超薄型镀膜测厚方法,介绍了该项测厚技术的基本电气原理,研究了测厚过程中石英晶体材料的选取方法和组织实施原则.石英晶体应具有固定的技术参数,并被安放于真空舱内的正确位置.密闭的石英晶体探头通过同轴电缆与外部振荡器相连,振荡器输出的频率信号由微机进行处理,将频率信号转化为厚度值.