石英晶体测厚仪监控核靶厚度

摘要

一、引言随着核物理研究的不断深入和高稳定性加速器及高分辩探测系统的发展,对核靶质量的要求越来越高。为获得高质量的核靶,必须在靶膜沉积过程中控制薄膜形成的条件。就蒸发膜而言,除了要有较好的蒸发源,清洁的高真空系统及一定的衬底温度外,必须对膜层厚度和蒸发速率进行精确控制。为此。