Bi3.15Nd0.85Ti2.97Mg0.03O12薄膜的铁电性能研究

摘要

在退火温度为600℃、650℃、700℃和750℃的条件下,采用化学溶液沉积法(CSD),在Pt/i/SiO2/Si(100)基底上制备了4批Bi3.15 Nd0.85 Ti2.97 Mg0.03 O12 (BNTM)铁电薄膜.同时,研究了退火温度对薄膜结晶性能、表面形貌以及铁电性能(剩余极化和漏电流)的影响.结果表明,经650℃退火处理的BNTM铁电薄膜具有较好的铁电性能,其剩余极化强度(2Pr)和矫顽场(2Ec)分别为37.8μC/cm2和182.2kV/cm,漏电流密度达到1.61E-7 A/cm2.