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钛酸锶钡(BST)薄膜的铁电性能研究

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采用射频磁控溅射法制备了Ba<,x>Sr<,x-1>TiO<,3>(简称BST)薄膜材料,研究了两种不同晶粒尺寸BST薄膜的介电偏压特性和电滞回线,分析了它们之间的差异,解释了电滞回线不对称的原因.

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来源
《第十三届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议暨第九届全国固体薄膜学术会议》|2004年|418-422|共5页
会议地点大连
作者
符春林; 杨传仁; 陈宏伟; 胡立业; 王迎新;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类其他半导体材料;
关键词
钛酸锶钡薄膜; 铁电性能; 晶粒尺寸; 磁控溅射法;

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