基于插值的二维位置敏感探测器非线性校正算法研究

摘要

光电位置敏感器件(PSD)具有性价比高、外围电路简单等优点,在微小量的高精度测量领域具有广泛应用,但由于其非线性畸变问题,导致系统测量精度降低.根据二维PSD固有的非线性畸变模型,分析了二维PSD非线性特征及对测量结果的影响,提出了适用于二维PSD在标定中出现的非均匀网络的改进双三次插值算法.仿真结果表明该算法能有效地减少二维PSD非线性的影响,且精度较高,收敛速度快,提高了测量数据的准确性.