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用RF-PECVD制备的SnO_2薄膜光电性质及化学成分

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利用ＸＰＳ研究了ＲＦ－ＰＥＣＶＤ制备的ＳｎＯ２薄膜的化学计量配比，测试了ＳｎＯ２薄膜的光学和电加热特性．结果表明：具有导电性能的ＳｎＯ２薄膜是一种非理想化学计量配比的氧化物半导体薄膜材料，薄膜还具有较高的可见光透过率和较好的电加热性能．

著录项

来源
《暨南大学学报：自然科学与医学版》|1999年第5期|4-7|共4页
作者
陈俊芳; 刘彭义;
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作者单位

华南师范大学物理系;

暨南大学物理系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的性质;
关键词
薄膜; 化学计量配比; 二氧化锡; PECVD;

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