光电压谱自动测量系统研究超晶格特性

摘要

报道了所建立的半导体光电压谱自动测量系统的结构、联机方法和工作原理。与手动测量方式相比，可提高测量效率２０多倍。应用该系统测量了ＧｅｘＳｉ１－ｘ／Ｓｉ应变层超晶格在不同温度下（１８～３００Ｋ）的光电压特性。