Si反射面组合式二维面发射激光二极管列阵

摘要

制备了一种组合式二维面发射激光二极管列阵。该列阵含6个发光区,脉冲输出功率可达220mW,且具有制作方便,兼备Si过渡热沉的优点,有利于器件可靠性的改善。并对影响发光效率的原因进行了分析。