计算机模拟二元ABAC结构薄膜生长

摘要

采用蒙特卡罗方法计算机模拟脉冲激光沉积ABAC结构薄膜生长.模型采用三重空位扭转,薄膜质量通过3个参数控制,即基片温度、脉冲粒子的剩余能量和单个脉冲覆盖度.结果表明,薄膜质量与3个参数相关,通过分析薄膜的失配率,得到制备高质量薄膜自组织分层生长的最合理参数.