Ga1-xAlxAs/GaAs双异质结激光器的液相外延研究

摘要

本文报导了Ga1-xAlxAs/GaAs双异质结激光器液相外延过程中,有关组份、浓度、生长速率控制的一些实验结果。主要内容是Ga1-xAlxAs层的组份、平均生长速率随溶液中Al含量的变化和杂质Te在GaAs、Ga1-xAlxAs层中的掺杂行为等。利用所得结果可方便地控制外延层的组份、厚度和掺杂浓度。