基于块匹配技术的MEMS器件平面微运动特性的测量

摘要

为测量MEMS谐振器周期运动过程中各个时刻的运动特性及其动态特性参数,基于频闪成像原理得到了MEMS谐振器一个周期内各时刻的清晰运动图像,利用块匹配技术对MEMS谐振器的运动图像进行处理,从而得到其特性参数,为MEMS器件的设计提供重要参考.实验结果表明,该方法具有较好的测量精度,测量重复性达到40 nm.