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【2h】

Compact High-Speed Spectrometers Based on MEMS Devices with Large Amplitude In-Plane Actuators

机译：基于具有大振幅平面激励器的MEMS器件的紧凑型高速光谱仪

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Kenda A.; Frank A.; Kraft M.; Tortschanoff A.; Sandner T.; Schenk H.; Scherf W.;
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年度 2009
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