锗基底的红外增透膜的研究

摘要

类金刚石薄膜因其优异的物理化学性能而具有广泛的应用，本文结合于锗在红外光学应用所具有不足，采用化学气相沉积方法，在锗基底表面制备类金刚石膜作为红外增透膜。对制备的样品进行傅立叶红外光谱和红外透射光谱进行测试，测试结果袁明，类金刚石膜是锗基底的理想的红外增透膜。